Room temperature oxidation of Cu3Ge and Cu3(Si1-xGex) on Si1-xGex: Fid-Bau Portal

Room temperature oxidation of Cu3Ge and Cu3(Si1-xGex) on Si1-xGex

Liang, H. H. / Luo, J. S. / Lin, W. T.

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Titel:

Room temperature oxidation of Cu3Ge and Cu3(Si1-xGex) on Si1-xGex

Beteiligte:

Liang, H. H. (Autor:in) / Luo, J. S. (Autor:in) / Lin, W. T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 233-235

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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