Low-temperature solid-phase-crystallization in Si1-xGex/SiO2: Fid-Bau Portal

Low-temperature solid-phase-crystallization in Si1-xGex/SiO2

Park, S. K. / Yamaguchi, S. / Sugii, N. / Nakagawa, K. / Miyao, M.

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Titel:

Low-temperature solid-phase-crystallization in Si1-xGex/SiO2

Beteiligte:

Park, S. K. (Autor:in) / Yamaguchi, S. (Autor:in) / Sugii, N. (Autor:in) / Nakagawa, K. (Autor:in) / Miyao, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 159-160 ; 116-120

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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