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    Dokumentinformationen
    Titel:

    The subimplantation model for hydrogenated amorphous carbon films deposited in electron cyclotron resonance plasma

    Beteiligte:

    Durand-Drouhin, O. (Autor:in) / Lejeune, M. (Autor:in) / Bouzerar, R. (Autor:in) / Benlahsen, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 213-215

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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