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    Titel:

    Composition analysis of oxidized buried SiC layers in silicon from EFTEM images

    Beteiligte:

    Attenberger, W. (Autor:in) / Lindner, J. K. (Autor:in) / Schmid, M. (Autor:in) / Gerlach, J. W. (Autor:in) / Stritzker, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 187-190

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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