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Lifetime study in advanced isolation techniques

Poyai, A. / Simoen, E. / Claeys, C. / Rooyackers, R. / Badenes, G.

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Titel:

Lifetime study in advanced isolation techniques

Beteiligte:

Poyai, A. (Autor:in) / Simoen, E. (Autor:in) / Claeys, C. (Autor:in) / Rooyackers, R. (Autor:in) / Badenes, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 4 ; 137-139

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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