Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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High-Aspect-Ratio Structures for MEMS
Pang, S. W. (Autor:in)
MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 26 ; 307-308
01.01.2001
2 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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