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MEMS acoustic emission transducers designed with high aspect ratio geometry

Saboonchi, H. / Ozevin, D.

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Titel:

MEMS acoustic emission transducers designed with high aspect ratio geometry

Beteiligte:

Saboonchi, H. (Autor:in) / Ozevin, D. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 22 ; 095006

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

95006 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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