Development of a vertical gradient freeze process for low EPD GaAs substrates: Fid-Bau Portal

Development of a vertical gradient freeze process for low EPD GaAs substrates

Bunger, T. / Behr, D. / Eichler, S. / Flade, T. / Fliegel, W. / Jurisch, M. / Kleinwechter, A. / Kretzer, U. / Steinegger, T. / Weinert, B.

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Bunger, T. / Behr, D. / Eichler, S. / Flade, T. / Fliegel, W. / Jurisch, M. / Kleinwechter, A. / Kretzer, U. / Steinegger, T. / Weinert, B.

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Titel:

Development of a vertical gradient freeze process for low EPD GaAs substrates

Beteiligte:

Bunger, T. (Autor:in) / Behr, D. (Autor:in) / Eichler, S. (Autor:in) / Flade, T. (Autor:in) / Fliegel, W. (Autor:in) / Jurisch, M. (Autor:in) / Kleinwechter, A. (Autor:in) / Kretzer, U. (Autor:in) / Steinegger, T. (Autor:in) / Weinert, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 80 ; 5 - 9

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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