Excimer Laser Fabrication of Low Cost Diffractive Optical Elements: Fid-Bau Portal

Excimer Laser Fabrication of Low Cost Diffractive Optical Elements

Flury, M. / Fontaine, J. / Gerard, P. / Engel, T. / Fogarassy, E. / Schunck, J. P.

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Dokumentinformationen

Titel:

Excimer Laser Fabrication of Low Cost Diffractive Optical Elements

Beteiligte:

Flury, M. (Autor:in) / Fontaine, J. (Autor:in) / Gerard, P. (Autor:in) / Engel, T. (Autor:in) / Fogarassy, E. (Autor:in) / Schunck, J. P. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCING MICROELECTRONICS ; 28 ; 19-21

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.381

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