Excimer laser ablation lithography applied to the fabrication of reflective diffractive optics: Fid-Bau Portal

Excimer laser ablation lithography applied to the fabrication of reflective diffractive optics

Flury, M. / Benatmane, A. / Gerard, P. / Montgomery, P. C. / Fontaine, J. / Engel, T. / Schunck, J. P. / Fogarassy, E.

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Titel:

Excimer laser ablation lithography applied to the fabrication of reflective diffractive optics

Beteiligte:

Flury, M. (Autor:in) / Benatmane, A. (Autor:in) / Gerard, P. (Autor:in) / Montgomery, P. C. (Autor:in) / Fontaine, J. (Autor:in) / Engel, T. (Autor:in) / Schunck, J. P. (Autor:in) / Fogarassy, E. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 208/209 ; 238-244

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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