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    Titel:

    Silicon oxide in Si&z.sbnd;Si bonded wafers

    Beteiligte:

    Himcinschi, C. (Autor:in) / Milekhin, A. (Autor:in) / Friedrich, M. (Autor:in) / Hiller, K. (Autor:in) / Wiemer, M. (Autor:in) / Gessner, T. (Autor:in) / Schulze, S. (Autor:in) / Zahn, D. R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 175-176 ; 715-720

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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