Specimen size effect on mechanical properties of polysilicon microcantilever beams measured by deflection using a nanoindenter: Fid-Bau Portal

Specimen size effect on mechanical properties of polysilicon microcantilever beams measured by deflection using a nanoindenter

Ding, J. N. / Meng, Y. G. / Wen, S. Z.

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Titel:

Specimen size effect on mechanical properties of polysilicon microcantilever beams measured by deflection using a nanoindenter

Beteiligte:

Ding, J. N. (Autor:in) / Meng, Y. G. (Autor:in) / Wen, S. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 83 ; 42 - 47

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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