Highly (111)-oriented and conformal iridium films by liquid source metalorganic chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Highly (111)-oriented and conformal iridium films by liquid source metalorganic chemical vapor deposition

Goswami, J. / Wang, C.-G. / Majhi, P. / Shin, Y.-W. / Dey, S. K.

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Titel:

Highly (111)-oriented and conformal iridium films by liquid source metalorganic chemical vapor deposition

Beteiligte:

Goswami, J. (Autor:in) / Wang, C.-G. (Autor:in) / Majhi, P. (Autor:in) / Shin, Y.-W. (Autor:in) / Dey, S. K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 2192-2195

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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