Characterisation of new thermosetting polymer materials for nanoimprint lithography: Fid-Bau Portal

Characterisation of new thermosetting polymer materials for nanoimprint lithography

Lyebyedyev, D. / Schulz, H. / Scheer, H. C. / Pfeiffer, K.

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Titel:

Characterisation of new thermosetting polymer materials for nanoimprint lithography

Beteiligte:

Lyebyedyev, D. (Autor:in) / Schulz, H. (Autor:in) / Scheer, H. C. (Autor:in) / Pfeiffer, K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 15 ; 241-243

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0928-4931

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 660

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