Tribology issues in nanoimprint lithography: Fid-Bau Portal

Tribology issues in nanoimprint lithography

Kim, K. S. / Kim, J. H. / Lee, H. J. / Lee, S. R.

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Titel:

Tribology issues in nanoimprint lithography

Beteiligte:

Kim, K. S. (Autor:in) / Kim, J. H. (Autor:in) / Lee, H. J. (Autor:in) / Lee, S. R. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 24 ; 5-12

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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