Contamination of Si surfaces in ultrahigh vacuum and formation of SiC islands: Fid-Bau Portal

Contamination of Si surfaces in ultrahigh vacuum and formation of SiC islands

Xie, F. / von Blanckenhagen, P. / Wu, J. / Liu, J. W. / Zhang, Q. Z. / Chen, Y. C. / Wang, E. G.

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Titel:

Contamination of Si surfaces in ultrahigh vacuum and formation of SiC islands

Beteiligte:

Xie, F. (Autor:in) / von Blanckenhagen, P. (Autor:in) / Wu, J. (Autor:in) / Liu, J. W. (Autor:in) / Zhang, Q. Z. (Autor:in) / Chen, Y. C. (Autor:in) / Wang, E. G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 181 ; 139-144

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Europäisches Patentamt | 2021

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