Fabrication of SMD 32.768 kHz tuning fork-type crystals: Photolithography and selective etching of an array of quartz tuning fork resonators: Fid-Bau Portal

Fabrication of SMD 32.768 kHz tuning fork-type crystals: Photolithography and selective etching of an array of quartz tuning fork resonators

Lee, S. / Lee, J.-Y. / Park, T.-S.

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Titel:

Fabrication of SMD 32.768 kHz tuning fork-type crystals: Photolithography and selective etching of an array of quartz tuning fork resonators

Beteiligte:

Lee, S. (Autor:in) / Lee, J.-Y. (Autor:in) / Park, T.-S. (Autor:in)

Erschienen in:

WERKSTOFFE UND KORROSION -WEINHEIM- ; 52 ; 712-715

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0043-2822

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11223

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