Controlled synthesis of aligned carbon nanotube arrays on catalyst patterned silicon substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Controlled synthesis of aligned carbon nanotube arrays on catalyst patterned silicon substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Wang, H. / Lin, J. / Huan, C. H. / Dong, P. / He, J. / Tang, S. H. / Eng, W. K. / Thong, T. L.

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Titel:

Controlled synthesis of aligned carbon nanotube arrays on catalyst patterned silicon substrates by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Beteiligte:

Wang, H. (Autor:in) / Lin, J. (Autor:in) / Huan, C. H. (Autor:in) / Dong, P. (Autor:in) / He, J. (Autor:in) / Tang, S. H. (Autor:in) / Eng, W. K. (Autor:in) / Thong, T. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 181 ; 248-254

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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