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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Effect of material properties on integration damage in organosilicate glass films

    Beteiligte:

    Ryan, E. T. (Autor:in) / Martin, J. (Autor:in) / Junker, K. (Autor:in) / Wetzel, J. (Autor:in) / Gidley, D. W. (Autor:in) / Sun, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 16 ; 3335-3338

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2001

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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