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Radio Frequency Discharge with Dust Particles
Radio Frequency Discharge with Dust Particles
Radio Frequency Discharge with Dust Particles
Chutov, Y. I. (Autor:in) / Goedheer, W. J. (Autor:in) / Kravchenko, O. Y. (Autor:in) / Zuz, V. M. (Autor:in) / Yan, M. (Autor:in)
MATERIALS SCIENCE FORUM ; 382 ; 69-80
01.01.2001
12 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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