Heteroepitaxy of 3C-SiC by electron cyclotron resonance-CVD technique: Fid-Bau Portal

Heteroepitaxy of 3C-SiC by electron cyclotron resonance-CVD technique

Mandracci, P. / Chiodoni, A. / Cicero, G. / Ferrero, S. / Giorgis, F. / Pirri, C. F. / Barucca, G. / Musumeci, P. / Reitano, R.

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Titel:

Heteroepitaxy of 3C-SiC by electron cyclotron resonance-CVD technique

Beteiligte:

Mandracci, P. (Autor:in) / Chiodoni, A. (Autor:in) / Cicero, G. (Autor:in) / Ferrero, S. (Autor:in) / Giorgis, F. (Autor:in) / Pirri, C. F. (Autor:in) / Barucca, G. (Autor:in) / Musumeci, P. (Autor:in) / Reitano, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 184 ; 43-49

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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