Nanocrystalline diamond thin films deposited by 35 kHz Ar-rich plasmas: Fid-Bau Portal

Nanocrystalline diamond thin films deposited by 35 kHz Ar-rich plasmas

Lopez, J. M. / Gordillo-Vazquez, F. J. / Albella, J. M.

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Titel:

Nanocrystalline diamond thin films deposited by 35 kHz Ar-rich plasmas

Beteiligte:

Lopez, J. M. (Autor:in) / Gordillo-Vazquez, F. J. (Autor:in) / Albella, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 185 ; 321-325

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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