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    Titel:

    Characteristics of aluminum-implanted 6H-SiC samples after different thermal treatments

    Beteiligte:

    Ottaviani, L. (Autor:in) / Lazar, M. (Autor:in) / Locatelli, M. L. (Autor:in) / Planson, D. (Autor:in) / Chante, J. P. (Autor:in) / Dubois, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 90 ; 301 - 308

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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