Subcritical crack growth in single-crystal silicon using micromachined specimens: Fid-Bau Portal

Subcritical crack growth in single-crystal silicon using micromachined specimens

Fitzgerald, A. M. / Iyer, R. S. / Dauskardt, R. H. / Kenny, T. W.

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Titel:

Subcritical crack growth in single-crystal silicon using micromachined specimens

Beteiligte:

Fitzgerald, A. M. (Autor:in) / Iyer, R. S. (Autor:in) / Dauskardt, R. H. (Autor:in) / Kenny, T. W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 17 ; 683-692

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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