Photoenhanced wet chemical etching of n+-doped GaN: Fid-Bau Portal

Photoenhanced wet chemical etching of n+-doped GaN

Skriniarova, J. / van der Hart, A. / Bochem, H. P. / Fox, A. / Kordos, P.

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Titel:

Photoenhanced wet chemical etching of n+-doped GaN

Beteiligte:

Skriniarova, J. (Autor:in) / van der Hart, A. (Autor:in) / Bochem, H. P. (Autor:in) / Fox, A. (Autor:in) / Kordos, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 91-92 ; 298 - 302

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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