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Wallace, R. M. / Wilk, G.

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Titel:

Alternative Gate Dielectrics for Microelectronics

Beteiligte:

Wallace, R. M. (Autor:in) / Wilk, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 27 ; 186-191

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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