A Thermodynamic Approach to Selecting Alternative Gate Dielectrics: Fid-Bau Portal

A Thermodynamic Approach to Selecting Alternative Gate Dielectrics

Schlom, D. G. / Haeni, J. H.

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Titel:

A Thermodynamic Approach to Selecting Alternative Gate Dielectrics

Beteiligte:

Schlom, D. G. (Autor:in) / Haeni, J. H. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 27 ; 198-205

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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