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Pulsed laser deposition of TiO2 for MOS gate dielectric

Paily, R. / DasGupta, A. / DasGupta, N. / Bhattacharya, P. / Misra, P. / Ganguli, T. / Kukreja, L. M. / Balamurugan, A. K. / Rajagopalan, S. / Tyagi, A. K.

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Titel:

Pulsed laser deposition of TiO2 for MOS gate dielectric

Beteiligte:

Paily, R. (Autor:in) / DasGupta, A. (Autor:in) / DasGupta, N. (Autor:in) / Bhattacharya, P. (Autor:in) / Misra, P. (Autor:in) / Ganguli, T. (Autor:in) / Kukreja, L. M. (Autor:in) / Balamurugan, A. K. (Autor:in) / Rajagopalan, S. (Autor:in) / Tyagi, A. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 187 ; 297-304

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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