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Controllable periodic structures on silicon wafer by CO2 laser irradiation

Wang, W. J. / Lu, Y. F. / An, C. W. / Hong, M. H. / Chong, T. C.

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Titel:

Controllable periodic structures on silicon wafer by CO2 laser irradiation

Beteiligte:

Wang, W. J. (Autor:in) / Lu, Y. F. (Autor:in) / An, C. W. (Autor:in) / Hong, M. H. (Autor:in) / Chong, T. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 186 ; 594-598

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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