Research on Periodic Structures Aroused by Femosecond Laser Irradiation on Single-Crystalline Silicon Wafer: Fid-Bau Portal

Research on Periodic Structures Aroused by Femosecond Laser Irradiation on Single-Crystalline Silicon Wafer

Wang, Y. S. / Dong, S. / Yang, Y. Q. / Liang, Y. C. / Wang, Y. H.

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Titel:

Research on Periodic Structures Aroused by Femosecond Laser Irradiation on Single-Crystalline Silicon Wafer

Beteiligte:

Wang, Y. S. (Autor:in) / Dong, S. (Autor:in) / Yang, Y. Q. (Autor:in) / Liang, Y. C. (Autor:in) / Wang, Y. H. (Autor:in) / Yuan, Z. / Xu, X. / Zuo, D. / Yuan, J. / Yao, Y.

Erschienen in:

Advances in Machining & Manufacturing Technology VIII ; 779-783

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 315/316

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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