Effects of interface structures on cracking in AlN(11&unknown;20)/alpha-Al~2O~3(1&unknown;102) epitaxial films: Fid-Bau Portal

Effects of interface structures on cracking in AlN(11&unknown;20)/alpha-Al~2O~3(1&unknown;102) epitaxial films

Kaigawa, K. / Shibata, T. / Nakamura, Y. / Asai, K. / Tanaka, M. / Sakai, H. / Tsurumi, T.

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Titel:

Effects of interface structures on cracking in AlN(11&unknown;20)/alpha-Al~2O~3(1&unknown;102) epitaxial films

Beteiligte:

Kaigawa, K. (Autor:in) / Shibata, T. (Autor:in) / Nakamura, Y. (Autor:in) / Asai, K. (Autor:in) / Tanaka, M. (Autor:in) / Sakai, H. (Autor:in) / Tsurumi, T. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 37 ; 1155-1164

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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