Specific features of submicron-rule IC topology features: Fid-Bau Portal

Specific features of submicron-rule IC topology features

Voitekh, S. N. / Kolesnik, I. I. / Rusetskii, A. M.

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Titel:

Specific features of submicron-rule IC topology features

Beteiligte:

Voitekh, S. N. (Autor:in) / Kolesnik, I. I. (Autor:in) / Rusetskii, A. M. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING AND APPLIED ELECTROCHEMISTRY C/C OF ELEKTRONNAIA OBRABOTKA MATERIALOV ; 30-35

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1068-3755

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44 / 660.297

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