Growth of 3-inch Diameter 6H-SiC Single Crystals by Sublimation Physical Vapor Transport: Fid-Bau Portal

Growth of 3-inch Diameter 6H-SiC Single Crystals by Sublimation Physical Vapor Transport

Wang, S. / Sanchez, E. K. / Kopec, A. / Poplawski, S. / Ware, R. / Holmes, S. / Balkas, C. M. / Timmerman, A. G.

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Titel:

Growth of 3-inch Diameter 6H-SiC Single Crystals by Sublimation Physical Vapor Transport

Beteiligte:

Wang, S. (Autor:in) / Sanchez, E. K. (Autor:in) / Kopec, A. (Autor:in) / Poplawski, S. (Autor:in) / Ware, R. (Autor:in) / Holmes, S. (Autor:in) / Balkas, C. M. (Autor:in) / Timmerman, A. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 35-38

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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