Improved SiCOI Structures Elaborated by Heteroepitaxy of 3C-SiC on SOI: Fid-Bau Portal

Improved SiCOI Structures Elaborated by Heteroepitaxy of 3C-SiC on SOI

Chassagne, T. / Ferro, G. / Wang, H. / Stoemenos, Y. / Peyre, H. / Contreras, S. / Camassel, J. / Monteil, Y. / Ghyselen, B.

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Titel:

Improved SiCOI Structures Elaborated by Heteroepitaxy of 3C-SiC on SOI

Beteiligte:

Chassagne, T. (Autor:in) / Ferro, G. (Autor:in) / Wang, H. (Autor:in) / Stoemenos, Y. (Autor:in) / Peyre, H. (Autor:in) / Contreras, S. (Autor:in) / Camassel, J. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in) / Ghyselen, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 389/393 ; 343-346

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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