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Nanotechnology for SAW devices on AlN epilayers

Palacios, T. / Calle, F. / Monroy, E. / Grajal, J. / Eickhoff, M. / Ambacher, O. / Prieto, C.

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Titel:

Nanotechnology for SAW devices on AlN epilayers

Beteiligte:

Palacios, T. (Autor:in) / Calle, F. (Autor:in) / Monroy, E. (Autor:in) / Grajal, J. (Autor:in) / Eickhoff, M. (Autor:in) / Ambacher, O. (Autor:in) / Prieto, C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 93 ; 154 - 158

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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