Effects of nitrogen addition on methane-based ECR plasma etching of gallium nitride: Fid-Bau Portal

Effects of nitrogen addition on methane-based ECR plasma etching of gallium nitride

Jin, Z. / Hashizume, T. / Hasegawa, H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Effects of nitrogen addition on methane-based ECR plasma etching of gallium nitride

Jin, Z. / Hashizume, T. / Hasegawa, H.

Effects of nitrogen addition on methane-based ECR plasma etching of gallium nitride

Jin, Z. / Hashizume, T. / Hasegawa, H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Effects of nitrogen addition on methane-based ECR plasma etching of gallium nitride

Beteiligte:

Jin, Z. (Autor:in) / Hashizume, T. (Autor:in) / Hasegawa, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 190 ; 361-365

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Stanton, N.M. / Kent, A.J. / Hawker, P. et al. | British Library Online Contents | 1999

Alkane Plasma Etching of Gallium Arsenide

Law, V. J. / Tewordt, M. / Ingram, S. G. et al. | British Library Online Contents | 1993

Photoelectrochemical etching of gallium nitride surface by complexation dissolution mechanism

Zhang, Miao-Rong / Hou, Fei / Wang, Zu-Gang et al. | British Library Online Contents | 2017

Fabrication of gallium nitride nanowires by metal-assisted photochemical etching

Zhang, Miao-Rong / Jiang, Qing-Mei / Zhang, Shao-Hui et al. | British Library Online Contents | 2017

Strain sensitivity in the nitrogen 1s NEXAFS spectra of gallium nitride

Ritchie, A. / Eger, S. / Wright, C. et al. | British Library Online Contents | 2014

Nach oben