Bimorph-Type Microactuator using TiNi Shape-Memory Thin Film: Fid-Bau Portal

Bimorph-Type Microactuator using TiNi Shape-Memory Thin Film

Ishida, A. / Sato, M. / Yoshikawa, W. / Tabata, O.

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Titel:

Bimorph-Type Microactuator using TiNi Shape-Memory Thin Film

Beteiligte:

Ishida, A. (Autor:in) / Sato, M. (Autor:in) / Yoshikawa, W. (Autor:in) / Tabata, O. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 394/395 ; 487-490

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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