Stability of Postannealed Silicon Dioxide Electret Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering: Fid-Bau Portal

Stability of Postannealed Silicon Dioxide Electret Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering

Minami, T. / Toda, H. / Utsubo, T. / Miyata, T. / Ohbayashi, Y.

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Titel:

Stability of Postannealed Silicon Dioxide Electret Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Minami, T. (Autor:in) / Toda, H. (Autor:in) / Utsubo, T. (Autor:in) / Miyata, T. (Autor:in) / Ohbayashi, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 43 ; 946-950

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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