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    Titel:

    Surface study of thin film gas sensors on a Si micro-machined substrate

    Beteiligte:

    Casaletto, M. P. (Autor:in) / Kaciulis, S. (Autor:in) / Mattogno, G. (Autor:in) / Pandolfi, L. (Autor:in) / Scavia, G. (Autor:in) / Dori, L. (Autor:in) / Nicoletti, S. (Autor:in) / Severi, M. (Autor:in) / Zampolli, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 189 ; 39-52

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    14 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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