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    Titel:

    Changes in Stress and Microstructure in Sputter Deposited Copper Films Due to Substrate Surface Effects

    Beteiligte:

    Okolo, B. (Autor:in) / Lamparter, P. (Autor:in) / Welzel, U. (Autor:in) / Wagner, T. (Autor:in) / Mittemeijer, E. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 404/407 ; 691-696

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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