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Surface Free Energy Effects in Sputter-Deposited WN~x Films

Fan, C.-W. / Lee, S.-C.

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Titel:

Surface Free Energy Effects in Sputter-Deposited WN~x Films

Beteiligte:

Fan, C.-W. (Autor:in) / Lee, S.-C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 48 ; 2449-2453

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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