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    Titel:

    Bias voltage influence on surface morphology of titanium nitride synthesized by dynamic nitrogen and titanium plasma immersion ion implantation and deposition

    Beteiligte:

    Tian, X. (Autor:in) / Wang, L. (Autor:in) / Fu, R. K. (Autor:in) / Chu, P. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A -LAUSANNE- ; 337 ; 236 - 240

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5093

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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