Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Effect of Line Geometries on Textures in Damascene Cu Lines
Effect of Line Geometries on Textures in Damascene Cu Lines
Effect of Line Geometries on Textures in Damascene Cu Lines
Paik, J.-M. (Autor:in) / Joo, Y.-C. (Autor:in) / Lee, D. N.
01.01.2002
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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