Strain engineering, self-assembly, and nanoarchitectures in thin SiGe films on Si: Fid-Bau Portal

Strain engineering, self-assembly, and nanoarchitectures in thin SiGe films on Si

Woll, A. R. / Rugheimer, P. / Lagally, M. G.

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Titel:

Strain engineering, self-assembly, and nanoarchitectures in thin SiGe films on Si

Beteiligte:

Woll, A. R. (Autor:in) / Rugheimer, P. (Autor:in) / Lagally, M. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 96 ; 94-101

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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