Excimer laser micromachining of TiN films from chromium and copper sacrificial layers: Fid-Bau Portal

Excimer laser micromachining of TiN films from chromium and copper sacrificial layers

Dowling, A. J. / Ghantasala, M. K. / Hayes, J. P. / Harvey, E. C. / Doyle, E. D.

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Titel:

Excimer laser micromachining of TiN films from chromium and copper sacrificial layers

Beteiligte:

Dowling, A. J. (Autor:in) / Ghantasala, M. K. (Autor:in) / Hayes, J. P. (Autor:in) / Harvey, E. C. (Autor:in) / Doyle, E. D. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 11 ; 715-721

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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