Nanotopography Issues in Shallow Trench Isolation CMP: Fid-Bau Portal

Nanotopography Issues in Shallow Trench Isolation CMP

Boning, D. / Lee, B.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Nanotopography Issues in Shallow Trench Isolation CMP

Boning, D. / Lee, B.

Nanotopography Issues in Shallow Trench Isolation CMP

Boning, D. / Lee, B.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Nanotopography Issues in Shallow Trench Isolation CMP

Beteiligte:

Boning, D. (Autor:in) / Lee, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 27 ; 761-765

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Park, J.-G. / Katoh, T. / Paik, U. | British Library Online Contents | 2004

Isolation trench

ZHU YING / HU ZHENGYU / YAO YUNLONG et al. | Europäisches Patentamt | 2015

Freier Zugriff

Tubes with Controllable Internal Nanotopography

Gadegaard, N. / Dalby, M. J. / Riehle, M. O. et al. | British Library Online Contents | 2004

Modulating the Nanotopography of Apatites

Bohner, M. | British Library Online Contents | 2004

SOIL RETAINING DEVICE FOR EXCAVATED SHALLOW TRENCH

MAEDA HIDEKI / KASAOKA MASASHI / UEMATSU YASUHITO et al. | Europäisches Patentamt | 2024

Freier Zugriff

Nach oben