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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Nanotopography impact in shallow-trench isolation chemical mechanical polishing-analysis method and consumable dependence

    Beteiligte:

    Park, J.-G. (Autor:in) / Katoh, T. (Autor:in) / Paik, U. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 19 ; 1783-1790

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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