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    Titel:

    Effect of the Substrate Thermal Expansion Coefficient on the Thermal Residual Stresses in W-Si-N Sputtered Films

    Beteiligte:

    Louro, C. (Autor:in) / Teixeira-Dias, F. (Autor:in) / Menezes, L. F. (Autor:in) / Cavaleiro, A. (Autor:in) / Vieira, T.

    Erschienen in:

    Proceedings of the 1^s^t International Materials Symposium, Coimbra, Portugal, April 9-11, 2001 ; 513-516

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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