Gas-phase mechanisms in the growth of ZrCyN1-y thin films by pulsed reactive crossed-beam laser ablation: Fid-Bau Portal

Gas-phase mechanisms in the growth of ZrCyN1-y thin films by pulsed reactive crossed-beam laser ablation

Spillmann, H. / Clerc, C. / Dobeli, M. / Willmott, P. R.

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Titel:

Gas-phase mechanisms in the growth of ZrCyN1-y thin films by pulsed reactive crossed-beam laser ablation

Beteiligte:

Spillmann, H. (Autor:in) / Clerc, C. (Autor:in) / Dobeli, M. (Autor:in) / Willmott, P. R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 197-198 ; 304-311

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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