Phosphorus-doped Si nanocrystallites embedded in SiO2 films: Fid-Bau Portal

Phosphorus-doped Si nanocrystallites embedded in SiO2 films

Makimura, T. / Yamamoto, Y. / Mitani, S. / Mizuta, T. / Li, C. Q. / Takeuchi, D. / Murakami, K.

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Titel:

Phosphorus-doped Si nanocrystallites embedded in SiO2 films

Beteiligte:

Makimura, T. (Autor:in) / Yamamoto, Y. (Autor:in) / Mitani, S. (Autor:in) / Mizuta, T. (Autor:in) / Li, C. Q. (Autor:in) / Takeuchi, D. (Autor:in) / Murakami, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 197-198 ; 670-673

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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